粗糙度和輪廓的精度,260 mm測量路徑
Mahr馬爾 計量的先進(jìn)技術(shù)實(shí)現(xiàn)一步完成輪廓和粗糙度測量。
MarSurf LD 130 和 MarSurf LD 260 測量站在設(shè)備經(jīng)驗(yàn)的基礎(chǔ)上,又經(jīng)過系統(tǒng)化的設(shè)計。
各種應(yīng)用中的測量任務(wù)越來越需要同時測量輪廓和粗糙度深度。測量儀器必須有很高的測量性能才能滿足這些要求。
亞納米級分辨率和殘余噪聲 <20 nm Rz 只是一些基本要求。